我們九域半導(dǎo)體公司申請獲得了發(fā)明榮譽，摘要顯示，本發(fā)明公開了一種基于渦流法探頭的薄晶錠電阻率檢測方法，涉及半導(dǎo)體測量技術(shù)領(lǐng)域，解決了在部分情況下待測薄晶錠對應(yīng)電阻率的測量出現(xiàn)偏差的問題，包括對待測薄晶錠進行電學(xué)檢測，分析得到待測薄晶錠的計算表面電阻率；基于待測薄晶錠的計算表面電阻率識別待測薄晶錠的薄晶錠種類，結(jié)合趨膚效應(yīng)計算待測薄晶錠的趨膚深度；設(shè)定多組與待測薄晶錠相似的對照薄晶錠，對多組對照薄晶錠進行渦流法測試，基于測試結(jié)果計算對照薄晶錠的補償系數(shù)；基于補償系數(shù)計算擬合方程并寫入上位機，結(jié)合擬合方程計算待測薄晶錠的實際電阻率，本發(fā)明實現(xiàn)對待測薄晶錠對應(yīng)電阻率的準確測量，同時還實現(xiàn)待測薄晶錠對應(yīng)電阻率的自動化與智能化測量